橢偏儀的原理以及應(yīng)用

什么是橢偏儀/橢圓偏振儀？

橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

橢偏儀的基本原理：

利用偏振光測(cè)量薄膜或界面參量，通過(guò)測(cè)量被測(cè)樣品反射(或透射)光線偏振狀態(tài)的變化來(lái)獲得樣品參量。 以我們優(yōu)尼康科技有限公司提供的一款多波長(zhǎng)橢偏儀為例，簡(jiǎn)單介紹下橢偏儀的功能。

這款型號(hào)為Film Sense FS-1的橢偏儀采用壽命長(zhǎng) LED 光源和非移動(dòng)式部件橢偏探測(cè)器，可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)薄膜測(cè)量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要1秒測(cè)量，就可以獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測(cè)量大多數(shù)樣品的光學(xué)常數(shù)和其他薄膜特性。

Film Sense FS-1多波長(zhǎng)橢偏儀這款功能多波長(zhǎng)橢偏儀，售價(jià)只是單一波長(zhǎng)橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域。

橢偏儀的應(yīng)用：

由于測(cè)量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為有力的測(cè)量?jī)x器。橢偏儀/橢圓偏振儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過(guò)程中。

可測(cè)材料：半導(dǎo)體、介電材料、有機(jī)高分子聚合物、金屬氧化物、多層膜物質(zhì)和石墨烯等等。