熱烈慶祝上海交大電子材料與器件校級平臺正式運行，優(yōu)尼康科技有限公司為該平臺提供了光學膜厚測量系統(tǒng)解決方案，用于測量各種介電材料如SiO2，SiNx等，以及光刻膠Photoresist的厚度。
