KLA iNano 納米壓痕儀可輕松測(cè)量薄膜、涂層和少量材料。 該儀器準(zhǔn)確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級(jí)測(cè)試等多種納米級(jí)機(jī)械測(cè)試。 該儀器的力荷載和位移測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍很大，因而可以實(shí)現(xiàn)從軟聚合物到金屬材料的精確和可重復(fù)測(cè)試。 模塊化選項(xiàng)適用于各種應(yīng)用：材料性質(zhì)分布、特定頻率測(cè)試、刮擦和磨損以及高溫測(cè)試。KLA iNano 納米壓痕儀提供了一整套測(cè)試擴(kuò)展選項(xiàng)，包括樣品加熱、連續(xù)剛度測(cè)量、NanoBlitz3D/4D屬性映射和遠(yuǎn)程視頻選項(xiàng)。
KLA iNano 納米壓痕儀可輕松測(cè)量薄膜、涂層和少量材料。該儀器準(zhǔn)確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級(jí)測(cè)試等多種納米級(jí)機(jī)械測(cè)試。該儀器的力荷載和位移測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍很大，因而可以實(shí)現(xiàn)從軟聚合物到金屬材料可重復(fù)測(cè)試。模塊化選項(xiàng)適用于各種應(yīng)用：材料性質(zhì)分布、特定頻率測(cè)試、刮擦和磨損以及高溫測(cè)試。KLA iNano 納米壓痕儀提供了一整套測(cè)試擴(kuò)展選項(xiàng)，包括樣品加熱、連續(xù)剛度測(cè)量、NanoBlitz3D/4D屬性映射和遠(yuǎn)程視頻選項(xiàng)。
模塊化設(shè)計(jì),既具有寬泛的測(cè)試功能，又可提供高通量的自動(dòng)化測(cè)試功能，并配有統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析包，適用于納米力學(xué)性能測(cè)量、掃描探針顯微成像、高溫測(cè)量和IV電壓電流特性測(cè)試實(shí)時(shí)的實(shí)驗(yàn)控制，簡(jiǎn)單易用的測(cè)試流程開(kāi)發(fā)和測(cè)試參數(shù)設(shè)置。
標(biāo)準(zhǔn)的InForce50電磁驅(qū)動(dòng)器。
集成高速控制器電子設(shè)備完成數(shù)據(jù)采集高達(dá)100kHz，捕獲材料瞬間的響應(yīng)，例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象。儀器使用工業(yè)界短時(shí)間常數(shù)20μs，快速捕捉材料瞬間的真實(shí)響應(yīng)。
集成了噪音隔離功能的剛度框架，可確保對(duì)各種材料進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。
數(shù)碼變焦的高分辨光學(xué)顯微鏡，詳盡定位樣本。
納米壓痕專(zhuān)家在線講授專(zhuān)業(yè)納米壓痕課程，以及移動(dòng)應(yīng)用程序能夠提供測(cè)試方法的實(shí)時(shí)更新。
KLA iNano 納米壓痕儀采用特定幾何形狀的金剛石壓頭以載荷準(zhǔn)靜態(tài)壓入材料表面，實(shí)時(shí)記錄加載-卸載過(guò)程中的載荷與壓入深度變化，生成?載荷-位移曲線?，通過(guò)曲線分析結(jié)合力學(xué)模型，計(jì)算材料的納米硬度和彈性模量等參數(shù)。
機(jī)械表征在薄膜的加工和制造中至關(guān)重要，其中包括汽車(chē)工業(yè)中的涂層質(zhì)量，以及半導(dǎo)體制造前段和后段的工藝控制。
KLA iNano 納米壓痕儀能夠測(cè)量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。對(duì)這些特性的高速評(píng)估保證了在生產(chǎn)線上進(jìn)行質(zhì)量控制。
對(duì)于包括復(fù)合材料在內(nèi)的許多材料，其機(jī)械性能可能因部位而異。KLA iNano 納米壓痕儀的樣品平臺(tái)可以在X軸和Y軸上移動(dòng)100mm，并在Z軸方向移動(dòng)25mm，這使得該系統(tǒng)適用于不同的樣品高度并可以在很大的樣品區(qū)域上進(jìn)行測(cè)量?？蛇x的NanoBlitz形貌和層析成像軟件可以快速繪制任何測(cè)得的機(jī)械屬性的彩色分布圖。
KLA iNano 納米壓痕儀包括預(yù)先編寫(xiě)的ISO14577測(cè)試方法，可測(cè)量符合ISO14577標(biāo)準(zhǔn)的材料硬度。該測(cè)試方法對(duì)楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標(biāo)準(zhǔn)化壓痕進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量和報(bào)告。
KLA iNano 納米壓痕儀能夠針對(duì)包括粘彈性聚合物的超軟材料測(cè)量tandelta和儲(chǔ)存與損耗模量。儲(chǔ)存與損耗模量以及tandelta是粘彈性聚合物的重要特性，其能量作為彈性能量存儲(chǔ)并作為熱量消耗。這兩個(gè)指標(biāo)都用于測(cè)量給定材料的能量消耗。
高溫下的納米壓痕對(duì)于表征熱應(yīng)力下的材料性能至關(guān)重要，特別對(duì)熱機(jī)械工藝中的失效機(jī)理進(jìn)行量化。在機(jī)械測(cè)試期間改變樣品溫度不僅能夠測(cè)量熱引起的行為變化，還能夠量化在納米級(jí)別上不易測(cè)試的材料過(guò)渡塑性。
生產(chǎn)質(zhì)量控制 | 金屬和合金 | 半導(dǎo)體 |
醫(yī)療器械 | 高聚物與塑料 | 涂料和油漆 |
MEMS/納米級(jí)器件 | 電池和儲(chǔ)能材料 | 陶瓷與玻璃 |
劃痕和磨損測(cè)試方法
NanoBlitz3D快速力學(xué)性能分布
NanoBlitz4D力學(xué)性能斷層掃描
連續(xù)剛度測(cè)量（CSM）
ProbeDM高聚物測(cè)試
AccuFil薄膜方法
300°C樣品加熱
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化的納米壓痕測(cè)試
遠(yuǎn)程視頻選項(xiàng)包括已安裝的網(wǎng)絡(luò)攝像頭，便于在測(cè)試之前和期間查看樣品。兩個(gè)觀察角度分布為樣品設(shè)置視圖和原位測(cè)試視圖，可分別觀察樣品和納米壓頭。
生物材料測(cè)試方法利用核心技術(shù)連續(xù)剛度測(cè)試CSM表征模量在1kPa左右的生物軟材料包含一個(gè)平底壓頭和測(cè)量軟材料儲(chǔ)存損耗模量的測(cè)試方法，
DataBurst模式在100kHz的速度下觸發(fā)數(shù)據(jù)采集，捕獲材料瞬間的響應(yīng)，例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象；允許在步進(jìn)荷載下測(cè)量高應(yīng)變率材料的力學(xué)性能；幫助客戶詳盡捕捉材料瞬間的真實(shí)響應(yīng)。
InView采用開(kāi)放式軟件編寫(xiě)平臺(tái)，以幫助客戶在測(cè)試過(guò)程中實(shí)現(xiàn)加載，測(cè)量和計(jì)算的完全控制。用于設(shè)計(jì)新穎或復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)。開(kāi)放式軟件編寫(xiě)平臺(tái)給予客戶較大的靈活性：幫助客戶輕易采集原始測(cè)試數(shù)據(jù)到和最終分析結(jié)果的完全使用；客戶可以完全瀏覽，編輯計(jì)算公式，自定義參數(shù)，實(shí)現(xiàn)個(gè)性化試驗(yàn)設(shè)計(jì)；用戶可以自由設(shè)計(jì)和改變?cè)囼?yàn)參數(shù)和試驗(yàn)過(guò)程，為探索新的試驗(yàn)測(cè)試提供可能。
TrueTestI-V選項(xiàng)允許用戶向樣品施加特定電壓并測(cè)量壓頭的電流，以表征納米力學(xué)測(cè)量過(guò)程中電學(xué)特性的局部變化。
在KLA iNano 納米壓痕儀的內(nèi)置被動(dòng)隔振的基礎(chǔ)上增加主動(dòng)隔振，為實(shí)現(xiàn)超薄薄膜等高難度納米力學(xué)測(cè)量提供了良好的穩(wěn)定性和詳盡度。主動(dòng)隔振系統(tǒng)減少了所有六個(gè)自由度的振動(dòng)，無(wú)需進(jìn)行調(diào)整。
InForce50、InForce1000和Gemini驅(qū)動(dòng)器的可互換壓頭包括Berkovich、立體角、維氏，以及平底和球體壓頭。
