【參展信息】優(yōu)尼康邀您相約上海新國際博覽中心
2024-03-14 16:51:32
admin
2024 SEMICON CHINA 與慕尼黑上海光博會將同期在上海新國際博覽中心舉辦，優(yōu)尼康將攜帶多臺設備參加此次盛會。您可以掃描文章下方二維碼，提前進行在線預約報名。期待和您現(xiàn)場相遇，我們現(xiàn)場準備了諸多精美小禮品等你來領取。
F50可以非常簡單地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜厚度分布圖。采用r-θ 極坐標移動平臺，可以快速定位所需的測試點并且實時獲得測試厚度，大約2點/秒。
相關應用：半導體制造（光刻膠、氧化物/氮化物/SOI、晶圓背面研磨）；LCD 液晶顯示器（聚酰亞胺、ITO 透明導電膜）；光學鍍膜（硬涂層、抗反射層）；MEMS 微機電系統(tǒng)（光刻膠、硅系膜層）。
在高度不超過9英寸的工件上具有優(yōu)于同類產(chǎn)品的 12 x12英寸可測量區(qū)域。自動多準直器允許選擇光斑尺寸，以適應各種特征尺寸;可變焦攝像頭允許在 0.25 英寸到3.5 英寸的焦距范圍內(nèi)進行測量。
相關應用：材料折射率消光系數(shù)測試；硅片自然氧化層厚度測試；光刻膠光學常數(shù)測試;半導體后段封裝硅上金屬厚度測量
薄膜缺陷檢測儀實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。
相關應用：所有缺陷類型；薄厚基板；透明和不透明基板；電介質(zhì)涂層；金屬涂層；鍵合硅片；開發(fā)和在線生產(chǎn)
