HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品介紹：
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制的解決方案。專為薄膜測量設(shè)計，一鍵式操作實現(xiàn)高效率。
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品特點：
可在450nm~1000nm波長內(nèi)實現(xiàn)快速測量（<1秒）
多種光斑尺寸軟件選擇
自動裝載和調(diào)整樣品高度（需自動平臺）
大面積自動成像（需自動平臺）
溫控臺、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、
密封氣體池、透過率曲線測量等多種附件
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品優(yōu)勢：
光斑可視系統(tǒng)：HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統(tǒng)，可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面，保證用戶可將測量光斑準確定位在樣品目標上的測量位置。
大樣品成像選項：HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀配備自動平臺，方便定位測量樣品上微結(jié)構(gòu)的位置，可對不均勻大樣品片進行mapping成像。
智能診斷：HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護非常簡單，借助完整的操作向?qū)В詣訖z測并診斷問題，對故障進行處理
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品測量原理：
HORIBA Auto SE 橢偏儀是利用薄膜的光學(xué)特性進行膜厚測量的非接觸測量方法?；谄窆夥瓷浠蛲干鋾r的狀態(tài)變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時，反射光或透射光的偏振狀態(tài)會發(fā)生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化，可以準確地推導(dǎo)出薄膜的厚度。
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀軟件：
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀軟件DeltaPsi2功能強大，它基于WindowsT操作系統(tǒng)，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光譜技術(shù)）橢偏儀硬件技術(shù)的優(yōu)勢，具有眾多的建模和擬合處理功能，以及簡單的操作界面，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。
梯度膜層
粗糙度或界面
材料組份/結(jié)晶度
各向異性膜層
薄膜厚度的不均勻性
退偏因子
與材料模型公式相關(guān)的完整的屬性數(shù)據(jù)庫
對于厚透明樣品基底背景光的自動修正
周期變化結(jié)構(gòu)
用戶超薄薄膜應(yīng)用的BLMC算法
多重猜測、多重初值、多重模型、相關(guān)性……
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀常見應(yīng)用：
表面測量 | 光學(xué)特性 | 厚度測量 | |
非晶硅、多晶硅 | 粗糙度 | 光學(xué)常數(shù)（n，k） | 從幾埃到15um |
納米晶體硅 | 自然氧化物厚度 | 光學(xué)帶隙Eg | 單層和多層膜 |
透明導(dǎo)電氧化物 | 表面薄膜厚度 | 透射率 | |
增透膜 | 退偏系數(shù) | ||
半導(dǎo)體 | 平板顯示 | 功能性涂料 | 生物和化學(xué)工程 |
介電薄膜 | TFT | 光學(xué)涂層 | 有機薄膜 |
金屬薄膜 | OLED | 增透型、自清潔型 | 薄膜吸附 |
高分子、光刻膠 | 等離子顯示板 | 表面鍍膜和處理 | 表面功能處理 |
PZT膜 | 柔性顯示板 | 有機材料 |
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品參數(shù)：
光斑尺寸 | 500μmX500μm,250μmX250μm, 100μmX100μm,250μmX500μm, 70μmX250μm*,50μmX60μm*, 25μmX60μm* | ||
測試時間： | 5s，Max1s | 可視系統(tǒng)： | MyAutoView |
Psi，Delta 測試精度： | Ψ=45°±0.05°-Δ=0°±0.2° | 折射率重復(fù)性 | n±0.001(1σ) |
厚度重復(fù)性： | d±0.1?或0.01%(1σ) | 樣品臺尺寸： | 200mm-200mm |
HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀測量圖：
