FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀產(chǎn)品介紹：

第四代FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀使用長(zhǎng)壽命的LED光源和無(wú)移動(dòng)部件的橢圓偏振探測(cè)器。在便攜的緊湊型系統(tǒng)中提供快速而可靠的薄膜測(cè)量。通過(guò)簡(jiǎn)單的1秒測(cè)量，可以以很高的精度和準(zhǔn)確度測(cè)定大多數(shù)透明薄膜的薄膜厚度和折射率，并對(duì)樣品進(jìn)行光學(xué)常數(shù)、n&k值等薄膜性質(zhì)的測(cè)量。

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：

• 多個(gè)LED光源：4或8個(gè)，波長(zhǎng)370-950nm，視系統(tǒng)而定

• 一體化設(shè)計(jì)：橢圓偏振探測(cè)器中無(wú)可移動(dòng)部件

• 光源壽命長(zhǎng)：>50,000小時(shí)），沒(méi)有耗時(shí)的對(duì)準(zhǔn)或PM程序

• 測(cè)量速度快：10ms內(nèi)的多波長(zhǎng)數(shù)據(jù)

• 使用維護(hù)簡(jiǎn)單：直接用瀏覽器即可訪問(wèn)軟件界面，沒(méi)有復(fù)雜的軟件和維護(hù)，無(wú)外部電子設(shè)備盒或光纖連接。

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀產(chǎn)品測(cè)量原理：

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀是利用薄膜的光學(xué)特性進(jìn)行膜厚測(cè)量的非接觸測(cè)量方法?；谄窆夥瓷浠蛲干鋾r(shí)的狀態(tài)變化來(lái)測(cè)量薄膜的厚度和折射率。當(dāng)偏振光照射到薄膜表面時(shí)，反射光或透射光的偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過(guò)分析這些變化，可以準(zhǔn)確地推導(dǎo)出薄膜的厚度。

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀產(chǎn)能力和表現(xiàn)：

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀在測(cè)量透明單層薄膜的厚度和折射率方面表現(xiàn)良好。上限厚度取決于橢偏儀系統(tǒng)（通常為2-5μm），但也取決于基底和薄膜的光學(xué)常數(shù)。與其他橢偏儀系統(tǒng)一樣，為了獲得準(zhǔn)確的折射率測(cè)量結(jié)果，需要有較小薄膜厚度（通常為10nm）。

也可以測(cè)量光吸收薄膜，但由于需要薄膜光學(xué)常數(shù)（n和k值），數(shù)據(jù)分析變得更加復(fù)雜。FilmSense軟件包含多種確定n&k值的方法價(jià)值：

• 多樣本分析；

• 結(jié)合橢偏儀和透射率測(cè)量；

• 使用新型液體樣品池選項(xiàng)的浸入式橢偏儀；

• 分散模型。吸收膜的厚度上限與材料類型密切相關(guān)；對(duì)于金屬膜，上限通常為50納米。

• FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀還可用于測(cè)量多層薄膜疊層（有時(shí)多達(dá)5層），具體取決于各層的厚度和折射率?？梢栽?/span>FilmSense軟件中進(jìn)行模擬，以確定特定樣品結(jié)構(gòu)是否可行。對(duì)于某些樣品，還可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀波長(zhǎng)對(duì)比：

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀產(chǎn)品參數(shù)：

FilmSense FS-8 多波長(zhǎng)橢偏儀圖：