安泰國際實(shí)驗(yàn)室FEI電子顯微鏡配備AVI主動(dòng)式減震臺(tái)

近日，我司工程師在安泰國際實(shí)驗(yàn)室，完成了FEI 電子顯微鏡與AVI主動(dòng)式減震臺(tái)的聯(lián)機(jī)安裝。該次安裝解決了該地段來自地面所產(chǎn)生的震動(dòng)干擾，獲得了實(shí)驗(yàn)室老師的一致好評(píng)。

電鏡和其它精密儀器對(duì)環(huán)境震動(dòng)要求，例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動(dòng)（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高頻震動(dòng)＜12微米.。20Hz以下的低頻震動(dòng)，對(duì)電鏡的干擾影響大。如果超過該指標(biāo)，電鏡在高倍率（1萬倍以上）照相，就難于得到理想圖像。普通掃描電子顯微鏡（SEM）當(dāng)安置到樓房層（2層以上），或置于有強(qiáng)震動(dòng)的場(chǎng)地時(shí)（例如附近地下有地鐵，），高倍率3萬倍以上觀察、照相就無法進(jìn)行。而使用震動(dòng)隔離系統(tǒng)-防振臺(tái)。場(chǎng)發(fā)射電鏡（FEM）要在幾十萬倍觀察和照相，對(duì)震動(dòng)要求更高。即便安裝在一樓，也都不能滿足要求。一般都要求安裝防振臺(tái)。