On-line在線薄膜厚度檢測(cè)方案
簡(jiǎn) 介
翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測(cè)量設(shè)備。提供一對(duì)一銷售服務(wù)，技術(shù)支持，備件管理和咨詢服務(wù)。
什么是Parylene ?
聚對(duì)二甲（Poly－para－ xylylene；簡(jiǎn)稱（ parylene）是一種高分子聚合物，在中國又稱為＂派瑞林”。
Parylene是六十年代中期美國 union Carbide Co．開發(fā)應(yīng)用的一種新型敷形涂 層材料根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同， Parylene可分為N型、C型、D型、HT型等多種類型。
常用派瑞林材料基本特性
(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉強(qiáng)30%,耐電壓低于N粉, C粉適用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐電壓高防水, 防腐性能低于C粉, 適用于微型電機(jī)矽鋼片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐電壓都比C-N粉各項(xiàng)性能提高了15%左右, 是在C-N粉基礎(chǔ)上提升起來的,己經(jīng)代替了C-N粉生產(chǎn)用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外線強(qiáng)應(yīng)用于戶外產(chǎn)品, 材料成本偏高客戶暫時(shí)很難接受單價(jià).
什么是Parylene C?
Parylene C 是系列中具有商業(yè)價(jià)值的成員。它由相同的單體制成，只是將其中一個(gè)芳香烴氫原子用一個(gè)氯原子所取代了。
綜合了優(yōu)良的介電性能和物理機(jī)械性能，對(duì)潮濕和腐蝕性氣體有很低的滲透性。
可以提供真正的無針孔覆形隔離。滿足美軍標(biāo)MIL-46058C,是涂敷重要電路板的材料。
Parylene 特性
Parylene沈積可以經(jīng)由活潑的單體（ monomer）氣體，聚合于物體表面上，而不同于一般經(jīng)由液體涂層的方法制備。
其活性分子在被涂裝的對(duì)象表面生成完全披覆的聚合物薄膜，可涂裝到任何形狀的表面面，且不產(chǎn)生死角，包括括尖銳的棱角、隙縫內(nèi)部與細(xì)微的針孔中，
膜厚可一致性的被覆在產(chǎn)品的部位，薄膜厚度由1um－50um。
Parylene 行業(yè)應(yīng)用
Parylene制程工藝介紹
Parylene采用化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）。
1．真空條件下, 以120℃將固態(tài)粉末狀的對(duì)二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加熱汽化;
3．氣態(tài)活性單體在室溫下沉積并聚合成聚對(duì)二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。
Parylene 制程設(shè)備生產(chǎn)管控三要素
Parylene 產(chǎn)品不良的3種特征
Parylene 行業(yè)的龍頭
日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收購美國特種涂層公司Specialty Coating Systems(SCS)。
生產(chǎn)過程中容易出現(xiàn)的問題及監(jiān)管
問題：
2. 材料在缸體停留時(shí)間過長(zhǎng) ，導(dǎo)致產(chǎn)品發(fā)白
3. 產(chǎn)品缸內(nèi)擺涉及原材料氣相流動(dòng)，也會(huì)對(duì)產(chǎn)品的厚度均勻性產(chǎn)生影響
4. 生產(chǎn)過程中堵缸，產(chǎn)品膜厚不增長(zhǎng)
5. 擋風(fēng)板結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)很重要，不合理會(huì)殘留材料會(huì)導(dǎo)致送料管堵塞
產(chǎn)品發(fā)白，發(fā)藍(lán)，產(chǎn)品附著力差、膜厚不均勻.
2.提升生產(chǎn)效率— 設(shè)定生產(chǎn)指標(biāo) ，報(bào)警提示
3.節(jié)省材料成本— 縮小產(chǎn)品指標(biāo)公差，材料節(jié)省可見
4.減少人工成本— 監(jiān)控室直接在線數(shù)據(jù)監(jiān)管
5.堵缸、停缸監(jiān)控— 節(jié)省材料，與人工挽救不良率
6.給產(chǎn)品設(shè)定精確的厚度范圍
7.方便不同產(chǎn)品工藝的調(diào)整
Filmetrics –生產(chǎn)過程在線監(jiān)控與測(cè)量的生產(chǎn)線布置示意圖
Unicorn–產(chǎn)品全檢在線測(cè)量方案
F32 --測(cè)量原理
快、準(zhǔn)、省
